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產(chǎn)品中心

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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心半導(dǎo)體專用檢測儀器設(shè)備XRDFreiberg-Ingot XRDIngot XRD - 晶錠X射線定向儀

Ingot XRD - 晶錠X射線定向儀
產(chǎn)品簡介

Ingot XRD - 晶錠X射線定向儀有著*的XRD系統(tǒng),用于單晶晶錠的自動定向、傾斜和對準(zhǔn)研磨。SiC | Si| AlN | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。

產(chǎn)品型號:Freiberg-Ingot XRD
更新時間:2024-09-12
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:2003
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Freiberg Instruments的單晶XRD定向儀
Ingot XRD - 晶錠X射線定向儀主要里程碑:        

◆  1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集團(tuán)亞瑟·布拉達(dá)切克和他的兒子漢斯·布拉達(dá)切克創(chuàng)立。

◆  1969 - 研制了世界上基于集成電路的x射線檢測計(jì)數(shù)裝置,名為 COUNTIX 130。

◆  1989 - 開發(fā) Omega-Scan 方法

BOSCH 要求提供圓形石英毛坯的定向測量系統(tǒng) -    振蕩器產(chǎn)量從 50% 提高到 95%

◆  2005 - 將 Omega 轉(zhuǎn)移到其他材料,如SiC、藍(lán)寶石、GaN、GaAS、Si、Ni基高溫合金

◆  2010 - 推出用于晶體取向測量的臺式 X 射線衍射儀 ( DDCOM ) 

全球售出 約 150臺石英分選系統(tǒng)

◆  2015 - X 射線技術(shù)和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH        


傳承60年德國工匠精神-三代X射線工程師        

        

 Ingot XRD - 晶錠X射線定向儀的特點(diǎn):        

◇   精度高        

◇   測量速度快: < 5秒/樣品        

◇   典型的標(biāo)準(zhǔn)偏差傾斜度(例如:Si 100):< 0.003 °,極小< 0.001 °。        

◇   晶錠的自動對準(zhǔn)        

◇   膠片的自動定位        

◇   光學(xué)測量晶錠和/或研磨原錠的幾何特征(平邊Flat、凹槽Notch位置)        

◇   晶錠的自動標(biāo)記        

◇   易于集成到工藝線中(手動或機(jī)器人裝載)。        

◇   數(shù)據(jù)矩陣代碼(DMC)閱讀器        

◇   MES接口;SECS/GEM或類似接口        

◇   直徑達(dá)300毫米,長度達(dá)520毫米的晶錠        


       

        

 Ingot XRD prepared for manual loading            

     

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